ミニチュアヘキサポッド 6DOFポジショニングシステムHEX150-125HL
製品紹介
HexGen® HEX150-125HLは、コンパクトでありながら剛性の高いプラットフォームで、安定した信頼性の高い6自由度（DOF）モーションを実現します。超微細な位置決め分解能、十分なペイロード容量、高いプロセススループットを備え、限られたスペースで複雑な多自由度モーションが必要な用途に最適です。
特長
- 精度と再現性の性能を保証した、コスト効率の高い設計
- 最小インクリメンタルモーションは業界トップクラスの15 nm
- 最大12 kgのペイロード対応能力
- 最高30 mm/s、30°/sの高速動作でプロセススループットを向上
仕様
| HEX150-125HL - X Axis | HEX150-125HL - Y Axis | HEX150-125HL - Z Axis | HEX150-125HL - A (θx) Axis | HEX150-125HL - B (θy) Axis | HEX150-125HL - C (θz) Axis | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 軸 | X | Y | Z | A (θx) | B (θy) | C (θz) |
| 移動範囲(1) | 42 mm | 44 mm | 17 mm | 16 deg | 42 deg | |
| 動作分解能（最小インクリメンタルモーション） | 15 nm | 0.04 arc sec | ||||
| 両方向繰り返し位置決め精度 pk-pk(2, 3) | ±1.5 µm | ±0.3 µm | ±3 arc sec | |||
| 単一方向の再現性 pk-pk | ±0.75 µm | ±0.15 µm | ±1.5 arc sec | |||
| 最大動作速度(4) | 30 mm/s | 8 mm/s | 10 deg/s | 30 deg/s | ||
| 垂直耐荷重 全方向(5) | 12 kg | |||||
| 水平耐荷重 全方向(5) | 5 kg | |||||
| 保持力（無電力時）(6) | 5 kg | |||||
| ステージ主要部 | 3 kg | |||||
| 材質 | プラットフォーム及びベース部はアルマイト加工アルミニウム。ジョイント及びストラット部には鋼材を使用。 | |||||
注釈
- 1. 同時に複数の軸方向へ移動することはできません。詳細なワークスペースについては別途ご相談ください。
- 2. 各軸を単独で動かし、可動プラットフォーム上部から50mmの高さで測定。測定結果は、搭載重量や作業位置によって異なります。
- 3. X、Y、Z軸の性能は標準仕様として保証されています。
- 4. 十分な電圧・電流を有する適切なアンプの選定が必要です。
- 5. 荷重は中心載荷を基準としています。荷重曲線をご参照ください。掲載値を超えるペイロードについては、メーカーにお問い合わせください。
- 6. ベースプレートは水平、荷重は中心載荷を基準としています。荷重曲線をご参照ください。
HEX150-125HLに関する
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