二軸メカニカルベアリングダイレクトドライブリニアステージPlanarDL
製品紹介
PlanarDLシリーズのステージは、コンパクトで低背な筐体ながら、優れた幾何学性能と動的性能を発揮します。
多様な移動範囲および性能オプションにより、表面形状測定からLEDウェハのスクライビングまで、幅広い用途に最適です。
特長
- 一体型の低背XYリニアモータステージ
- 真直度 ±0.4 µm、平面度 ±1 µm の優れた幾何学性能
- アンチクリープ機構を備えた高精度クロスローラベアリング
- 移動範囲および精度の異なる9モデルを用意
仕様
| PlanarDL-100XY-PL1 | PlanarDL-100XY-PL3 | PlanarDL-100XY-PL4 | PlanarDL-200XY-PL1 | PlanarDL-200XY-PL3 | PlanarDL-200XY-PL4 | PlanarDL-300XY-PL1 | PlanarDL-300XY-PL3 | PlanarDL-300XY-PL4 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動範囲 | 100 mm x 100 mm | 200 mm x 200 mm | 300 mm x 300 mm | ||||||
| 動作精度 | ±3 µm | ±0.4 µm | ±4 µm | ±0.5 µm | ±5 µm | ±0.75 µm | |||
| 双方向繰り返し位置決め精度(2) | ±0.1 µm | ||||||||
| 動作分解能 (最小インクリメンタルモーション) | 3 nm | ||||||||
| 真直度 | ±1 µm | ±0.4 µm | ±1.5 µm | ±0.5 µm | ±2 µm | ±0.75 µm | |||
| 平行度 | ±1 µm | ±1.5 µm | ±2 µm | ||||||
| ピッチング | 12 arc sec | 15 arc sec | 18 arc sec | ||||||
| ローリング | 12 arc sec | 15 arc sec | 18 arc sec | ||||||
| ヨーイング | 6 arc sec | 8 arc sec | 10 arc sec | ||||||
| 直交性 | 20 arc sec | 5 arc sec | 1 arc sec | 20 arc sec | 5 arc sec | 1 arc sec | 20 arc sec | 5 arc sec | 1 arc sec |
| 最大速度 | 500 mm/s | 750 mm/s | 1000 mm/s | ||||||
| 最大加速度 (無負荷; 上位軸方向) | 1.5 g (無負荷) | 1.0 g (モーターｘ1) | |||||||
| 1.5 g (モーターｘ2) | |||||||||
| 最大推力 (連続) | 26 N | 31 N (モーターｘ1) | 78 N (モーターｘ1) | ||||||
| 62 N (モーターｘ2) | 156 N (モーターｘ2) | ||||||||
| 水平耐荷重(3) | 15 kg | 20 kg | 30 kg | ||||||
| 可搬質量-上位軸方向 | 2.9 kg | 6.3 kg (-M1もしくは-M3モーター) | 16.3 kg (-M1もしくは-M3モーター) | ||||||
| 7.4 kg (-M2もしくは-M4モーター) | 19.1 kg (-M2もしくは-M4モーター) | ||||||||
| 可搬質量-下位軸方向 | 8.4 kg | 16.8 kg (-M1モーター) | 45.0 kg (-M1モーター) | ||||||
| 17.8 kg (-M2もしくは-M3モーター) | 48.1 kg (-M2もしくは-M3モーター) | ||||||||
| 19.0 kg (-M4モーター) | 50.9 kg (-M4モーター) | ||||||||
| ステージ重量(4) | 11 kg | 23-25 kg | 53-63 kg | ||||||
| 材質 | ブラックアルマイト加工アルミニウム | ||||||||
| MTBF（平均故障間隔） | 30,000 時間 | ||||||||
注釈
- 1. -PL3及び-PL4オプションにはAerotech社製コントローラーが必要です。
- 2. 繰返し精度の仕様は、フィードバック分解能が20 nm以下であることを前提としています。
- 3. 記載された方向における軸方向荷重。
- 4. ステージ重量は、モータ構成によって異なります。
- 5. -PL1および-PL3オプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で、各軸ごとに測定した値です。-PL4の仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で測定したXY値です。
- BASEおよびPLUSオプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方で測定した各軸ごとの値です。ULTRAオプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方で測定したXY値です。PLUSおよびULTRAの性能オプションには、Aerotech製コントローラが必要です。
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