メカニカルベアリング ダイレクトドライブリニアステージPRO115LM
製品紹介
PRO115LMは、中・高性能の産業用途に優れた性能を発揮するコンパクトなリニアモーターステージです。
特長
- コンパクト設計により、設置スペースが限られた用途でも容易に組み込み可能
- 鉄心レス、コギングのないリニアモーターにより、滑らかで超高精度な動作を実現
- ハードカバーおよびサイドシールにより、汚染物質や微粒子から保護
- 真空およびクリーンルーム対応バージョンを用意
仕様
| PRO115LM-050 | PRO115LM-100 | PRO115LM-150 | PRO115LM-200 | PRO115LM-300 | PRO115LM-400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動範囲 | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm |
| 動作精度-標準(1) | ±3 µm | ±4 µm | ±6 µm | ±8 µm | ±10 µm | ±12 µm |
| 動作精度-キャリブレーション後(1) | ±0.75 µm | ±1 µm | ±1.5 µm | |||
| 動作分解能 (最小インクリメンタルモーション) | 5 nm (-E1 エンコーダー) | |||||
| 双方向繰り返し位置決め精度(2) | ±0.4 µm | ±0.5 µm | ||||
| 真直度 水平方向(1) | ±1.5 µm | ±2.5 µm | ±3 µm | ±4 µm | ±6 µm | ±8 µm |
| 真直度 垂直方向(1) | ±1.5 µm | ±2.5 µm | ±3 µm | ±4 µm | ±6 µm | ±8 µm |
| ピッチング | 19 µrad | 29 µrad | 39 µrad | 58 µrad | 78 µrad | |
| ローリング | 19 µrad | 29 µrad | 39 µrad | 58 µrad | 78 µrad | |
| ヨーイング | 19 µrad | 29 µrad | 39 µrad | 58 µrad | 78 µrad | |
| 最高速度(2) | 2 m/s | |||||
| 最大加速度(2) | 3 g | |||||
| 最大フォース（連続） | 20.8 N | |||||
| 水平耐荷重(3) | 40 kg | |||||
| 垂直耐荷重(3) | 40 kg | |||||
| 移動質量 | 1.9 kg | |||||
| ステージ重量 | 5.1 kg | 5.7 kg | 6.2 kg | 6.8 kg | 7.9 kg | 9.0 kg |
| 材質 | アルミニウム | |||||
| MTFB（平均故障間隔） | 20,000 時間 | |||||
注釈
- 1. PL1/-PL2オプションで保証。
- 2. 十分な電圧・電流を有する適切なアンプの選定が必要です。
- 3. 軸上荷重の軸方向を記載。
- 4. 本仕様は、テーブルトップ上25 mm位置で測定した単軸システムを対象としています。多軸システムの性能は可搬質量およびワークポイントにより左右されます。多軸アプリケーションにつきましては、メーカーにお問い合わせください。
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