五軸レーザー微細加工用高精度スキャナAGV5D
製品紹介
AGV5Dは、微細加工用の歳差運動型5軸レーザースキャナで、鮮明な断面で精密な穴あけ、曲線のある溝、その他の形状を生成するための、最速・最も柔軟・高精度なソリューションです。
レーザー、スキャンヘッド、ワークピースの位置決めまで含めた精密な微細加工工程全体を制御できるように設計されています。
特長
- 幅広い商用フェムト秒レーザーに対応
- 1030 nm、1064 nm、515 nm、532 nm に適合した光学系を選択可能
- 機械、システム、サブシステムへの統合を容易にするユーザーフレンドリーな設計
- 高アスペクト比形状の加工向けにガス圧最大 200 psig を補助
仕様
| AGV5D | |
|---|---|
| 光学系仕様 | |
| レーザー波長(1) | 1030 nm, 1064 nm |
| 515 nm, 532 nm | |
| 最大レーザーパルス出力(2) | 400 µJ (λ = 1030 nm, 1064 nm) |
| 350 µJ (λ = 515 nm, 532 nm) | |
| 最小レーザーパルス幅 | 250 fs(3) |
| 平均出力 | ≤ 100 W |
| 対物レンズ焦点距離 | 55 mm |
| 最小焦点サイズ(4) | 15 µm (λ = 1030 nm, 1064 nm) |
| 7 µm (λ = 515 nm, 532 nm) | |
| 入力ビーム径 (1/e2 ) | 2.3 mm （推奨） |
| 2.8 mm （最大）(5) | |
| 偏光 | 円偏光もしくは直線偏光(6) |
| 構造 | |
| 軸 | 5軸：レーザースポット位置決め (X、Y)；焦点 (Z)；歳差運動 (A、B) |
| 視野(7) | Ø 2 mm |
| Z方向焦点範囲 | |
| 先端からの作業範囲 | Up to 4 mm(8) |
| 最大歳差運動角(7) | |
| 位置決め分解能 | |
| 繰り返し位置決め精度 | |
| 穴径精度 | < 0.2 µm |
| 歳差運動周波数(9) | up to 800 Hz |
| 最大焦点速度 | 130 mm/s |
| パージ用ガス(10) | 窒素、最大 5 psig |
| アシストガス | ユーザーにて選択可能、最大 200 psig |
| 冷却機構 | 水冷式モーター、空冷式光学系(11) |
| 重量 | 31 kg |
注釈
- 1. 他の波長についてはメーカーにお問い合わせください。
- 2. 入力ビーム径が 2 mm（1/e²）以上の場合に有効です。入力ビーム径が 2 mm 未満の場合は、メーカーにお問い合わせください。
- 3. 光学系の損傷を避けるため、最小レーザーパルス幅は 250 fs 未満にしないでください。
最適な焦点品質を得るには、最小パルス幅は 400 fs を推奨します。 - 4. 直径は 1/e² 定義で示しており、入力ビーム品質はM2=1.2M2 =1.2 を仮定しています。表示値は入力ビーム径 2.3 mm（1/e²）を前提としています。
- 5. 入力ビーム径が最大値を超えると、視野および/または最大歳差運動範囲が低下する場合があります。
- 6. -AM2 アライメントモジュールオプション、または外部偏光光学系（お客様支給）が必要です。 キャクサマシキュウ
- 7. 最大可動範囲は、指定された入力ビーム径に対して示されており、これらは相互に排他的です。詳細な作動領域のサイズ決定については、メーカーにお問い合わせください。
- 8. 先端からの作業範囲が3.25 mm を超えると、最大歳差運動範囲が制限されます。
- 9. 歳差運動周波数は、入射角と加工サイズに依存します。
- 10. 窒素の場合、99.99% 純度、0.25 µm ろ過。圧縮空気では オイルフリー、0.25 µm ろ過、露点 0°F。
- 11. 水冷および空冷の入力は、すべての AGV5D モデルで標準装備です。これらの冷却機能の使用は推奨されていますが、すべての使用ケースで必要というわけではありません。
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