二軸エアベアリングダイレクトドライブリニアステージPlanarHD
製品紹介
PlanarHDは2軸制御のダイレクトドライブエアベアリングステージです。極めて高いスループットが求められる用途において、非常に高精度な幾何特性を維持しつつ、可能な限り最大の動的性能を発揮できるよう、すべてのコンポーネントと設計要素が最適化されています。
特長
- スキャン速度 2 m/s、加速度 5G によりスループットを最大化
- アクティブヨーコントロール
- 移動範囲 1.2 m × 1.2 m
仕様
| PlanarHD | |
|---|---|
| 移動範囲-スキャン軸(7) | 500 mm |
| 移動範囲-ステップ軸(7) | 500 mm |
| 動作精度（ゼロ膨張スケール）(1) | ±300 nm |
| 繰り返し位置決め精度（長期間） | ±50 nm |
| XYZ 位置決め安定性（大気中） | 20 nm |
| 花こう岩テーブル厚み | 250 mm |
| 定格可搬質量（ダイナミック仕様を維持） | 5 kg |
| 最大可搬質量(2) | 30 kg |
| 最大速度（定格可搬質量あり）-スキャン軸(3) | 2000 mm/s |
| 加速度（ピーク値）（定格可搬質量あり）-スキャン軸 | 5 g |
| 加速度（RMS）（定格可搬質量あり）-スキャン軸 | 1.25 g |
| 剛性、初期固有振動数（定格可搬質量あり） | >330 Hz |
| ピッチング | 3.5 arc sec |
| ローリング | 3.5 arc sec |
| ヨーイング | 3.5 arc sec |
| XY 直交性(4) | 1 arc sec |
| MTBF（平均故障間隔） | >40,000 時間 |
注釈
- 1. Aerotech社コントローラーを使用及びキャリブレーション後の値です。
- 2. 最大許容荷重は、軸受の耐荷重能力に基づいて決まります。なお、実際の最大適用荷重は、加速度要件によって制限される場合があります。
- 3. 最大速度はステージの能力に依存します。ただし、実際の使用時の最大速度は、システムのデータレートおよび分解能により制約される場合があります
- 4. キャリブレーションが必要です。
- 5. エアベアリングを圧力低下から保護するため、モーションコントローラの ESTOP 入力に接続したインライン圧力スイッチの設置を推奨します。
- 6. エア供給は清浄で乾燥していること、露点は 0°F であること、また 0.25 µm 以下のフィルタでろ過されていることが必要です。必要に応じて、純度 99.9% の窒素の使用を推奨します。
- 7. 移動範囲は、アプリケーション固有の要件に合わせてカスタマイズ可能です。その他のトラベルオプションについては、メーカーにお問い合わせください。
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