ハイダイナミックレーザースキャンヘッドAGV-XPO
製品紹介
AGV-XPOは、Aerotech社最上位の2軸レーザースキャンヘッドです。速度と精度のトレードオフを最小限に抑えたモデルで、低慣性かつ高効率のモーターにより高い加速性能を実現し、さらに超高分解能の位置フィードバックと最適化された構造動特性によって、追従誤差を最小限に抑えながら優れたワーク形状追従性能を提供します。
特長
- 革新的な動的最適化設計により、プロセススループットを向上
- 高分解能フィードバックにより、優れた動的精度を実現し、歩留まりを改善
- 他のモーション軸と容易に同期でき、シームレスな統合と高い使いやすさを提供
仕様
| AGV10XPO | AGV14XPO | AGV20XPO | |
|---|---|---|---|
| 光学系仕様 | |||
| ビームアパーチャー | 10 mm | 14 mm | 20 mm |
| 最大スキャン角度 | ±20° | ||
| ビーム変位 | 12.6 mm | 16.5 mm | 23.2 mm |
| フィードバック分解能 | 0.012 µrad (25ビット) (-E1) | ||
| 0.00016 µrad (32ビット) (-E2) | |||
| ビームティザー (最小インクリメンタルモーション)(2) | 0.4 µrad RMS (-E1) | ||
| 0.02 µrad RMS (-E2) | |||
| 精度 | 50 µrad pk-pk | ||
| 繰り返し精度(3) | 0.4 µrad RMS | ||
| ゲインエラー | 0.05 mrad | ||
| 非線形性 | 5×10⁻⁵ | ||
| ダイナミック性能 | |||
| トラッキングエラー | 0 µsec | ||
| 加速（ピーク）(4)(5) | 355,000 m/s2 (-E1) | 262,000 m/s2 (-E1) | 95,000 m/s2 (-E1) |
| 300,000 m/s2 (-E2) | 231,000 m/s2 (-E2) | 88,000 m/s2 (-E2) | |
| 加速（連続）(4)(6) | 95,000 m/s2 (-E1) | 66,000 m/s2 (-E1) | 25,000 m/s2 (-E1) |
| 80,000 m/s2 (-E2) | 58,000 m/s2 (-E2) | 23,000 m/s2 (-E2) | |
| 位置決め速度(4) | 84 m/s (-E1) | 81 m/s (-E1) | 55 m/s (-E1) |
| 32 m/s (-E2) | 32 m/s (-E2) | 32 m/s (-E2) | |
| ジャンプ＆セットリングタイム、1 mm 移動時(4)(7) | 210 µs (-E1) | 225 µs (-E1) | 280 µs (-E1) |
| 250 µs (-E2) | 260 µs (-E2) | 340 µs (-E2) | |
| 安定性 | |||
| 長時間 オフセット・ドリフト(3) | 10 µrad/12 時間 | ||
| 15 µrad/24 時間 | |||
| 長時間 ゲイン・オフセット(3) | 10 ppm/24 時間 | ||
| 温度 オフセット・ドリフト | 10 µrad/°C | ||
| 温度 ゲイン・ドリフト | 1 ppm/°C | ||
| 構造 | |||
| 重量 | 2.5 kg (-E1) | 2.6 kg (-E1) | 2.9 kg (-E1) |
| 3.1 kg (-E2) | 3.2 kg (-E2) | 3.5 kg (-E2) | |
| 材質 | アルミニウム（ブラックアルマイト加工、青塗装） | ||
| MTBF（平均故障間隔） | 20,000 時間 | ||
注釈
- 1. 特に指定がない限り、すべての角度は光学角です。
- 2. 空冷（AC）オプション無し
- 3. 3時間の暖機運転後、環境気温変化 <±0.5 °C
- 4. f = 160mm F-Theta対物レンズ使用時の標準的な性能です。
- 5. モーターの最大定格電流を基準としています。
- 6. 水冷（WC）オプション付きモーターの定格 RMS 電流に基づきます。水冷オプションのない場合の最大連続加速度はその値の 70%となります。
- 7. 移動距離の 1% 以内に安定
- 8. 特に明記のない限り、すべての仕様は軸ごとに適用されます。
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