多軸フォトニクスアライメントシステムFiberMaxHP
製品紹介
FiberMax®HPは、AerotechのANTナノポジショニング製品ラインを基盤とした、第2世代の3〜6軸フォトニクスアライメントプラットフォームです。高度に自動化された24時間365日稼働の生産環境向けに設計されており、速度・精度・分解能のいずれにも妥協しません。
特長
- 最大6軸の精密モーション
- 全軸非接触・ダイレクトドライブで、高スループットなアライメントを実現
- リニア動作 2 nm、回転動作 0.05 µrad
- 多数の標準的な構成とオプションに対応した柔軟な設計
仕様
| FiberMaxHP | -ZXY | -ZXYT | -ZXYR | -ZXYP | -ZXYTR | -ZXYTP | -ZXYTPR | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動範囲 | X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm R: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm P: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg R: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg P: 20 deg |
X: 50 mm Y: 3 mm Z: 50 mm T: 20 deg P: 20 deg R: 20 deg |
|
| 位置決め精度(1, 2) | 基本性能 (-PL1) | X: ±3.0 µm Y: ±2.0 µm Z: ±3.5 µm |
X: ±4.2 µm Y: ±2.0 µm Z: ±4.7 µm T: ±25 µrad |
X: ±4.2 µm Y: ±2.0 µm Z: ±4.7 µm R: ±90 µrad |
X: ±4.2 µm Y: ±2.0 µm Z: ±4.7 µm P: ±90 µrad |
X: ±5.5 µm Y: ±2.0 µm Z: ±6.0 µm T: ±25 µrad R: ±90 µrad |
X: ±5.5 µm Y: ±2.0 µm Z: ±6.0 µm T: ±25 µrad P: ±90 µrad |
X: ±6.5 µm Y: ±2.0 µm Z: ±7.0 µm T: ±25 µrad P/R: ±90 µrad |
| 基本性能 (-PL3) | X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm T: ± 8 µrad |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm R: ±30 µrad |
X: ±300 nm Y: ±200 nm Z: ±300 nm P: ±30 µrad |
X: ±350 nm Y: ±200 nm Z: ±350 nm T: ±8 µrad R: ±30 µrad |
X: ±350 nm Y: ±200 nm Z: ±350 nm T: ±8 µrad P: ±30 µrad |
X: ±400 nm Y: ±200 nm Z: ±400 nm T: ±8 µrad P/R: ±30 µrad |
|
| 動作分解能 (最小インクリメンタルモーション） | 2 nm | X/Y/Z: 2 nm T: 0.05 µrad |
X/Y/Z: 2 nm R: 0.25 µrad |
X/Y/Z: 2 nm P: 0.25 µrad |
X/Z: 3 nm Y: 2 nm T: 0.05 µrad R: 0.25 µrad |
X/Z: 3 nm Y: 2 nm T: 0.05 µrad P: 0.25 µrad |
X/Z: 4 nm Y: 2 nm T: 0.05 µrad P/R: 0.25 µrad |
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| 両方向繰り返し位置決め精度(3) | ±150 nm | X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 µrad |
X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm R: ±18 µrad |
X/Z: ±175 nm Y: ±150 nm P: ±18 µrad |
X/Z: ±200 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 µrad R: ±18 µrad |
/Z: ±200 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 µrad P: ±18 µrad |
X/Z: ±250 nm Y: ±150 nm T: ±3.5 µrad P/R: ±18 µrad |
|
| 最大動作速度(4) | X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s R: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s P: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s R: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s P: 150 deg/s |
X: 400 mm/s Y: 75 mm/s Z: 200 mm/s T: 120 deg/s P/R: 150 deg/s |
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| 耐荷重(5) | 2 kg | 1.5 kg | 1.5 kg | 1.5 kg | 1 kg | 1 kg | 1 kg | |
| ステージ重量 主要部 | 6.0 kg | 7.5 kg | 6.5 kg | 6.5 kg | 8.0 kg | 8.0 kg | 9.0 kg | |
| 材質 | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | アルマイト加工アルミニウム | |
| MTFB（平均故障間隔） | 30,000 時間 | 30,000 時間 | 30,000 時間 | 30,000 時間 | 30,000 時間 | 30,000 時間 | 30,000 時間 | |
注釈
- 1. 表記の値は、各軸ごとに、上部取付けプラットフォームから20mm離した位置で測定した値です。
- 2. Aerotech社製コントローラーが必要です。
- 3. システムごとに保証されています。
- 4. 十分な電圧・電流を有する適切なアンプの選定が必要です。
- 5. 軸上荷重
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