二軸メカニカルベアリングダイレクトドライブステージ 開口部付PlanarDLA
製品紹介
PlanarDLAシリーズのステージは、コンパクトで低背な筐体ながら、クリアアパーチャー、高い動特性、卓越した幾何学性能を備えています。
これらのステージは、高い動特性とマイクロメートルレベルの真直度が求められる両面LEDウェハ加工から、高精度で精密な幾何学性能が必要とされる準静的光学計測まで、幅広い用途に不可欠です。用途を問わず、PlanarDLAは多様なニーズに対応できるよう、さまざまな構成オプションを備えて設計されています。
特長
- クリアアパーチャーを備えた一体型の低背XYリニアモータステージ
- 真直度 ±0.5 µm、平面度 ±1.25 µm の優れた幾何学性能
- 高ダイナミック用途に最適化
- 最大速度 2 m/s、加速度 2G
- 移動範囲と精度の異なる9モデルを用意
仕様
| PlanarDLA-150XY-PL1 | PlanarDLA-150XY-PL3 | PlanarDLA-150XY-PL4 | PlanarDLA-250XY-PL1 | PlanarDLA-250XY-PL3 | PlanarDLA-250XY-PL4 | PlanarDLA-330XY-PL1 | PlanarDLA-330XY-PL3 | PlanarDLA-330XY-PL4 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動範囲 | 150 mm x 150 mm | 250 mm x 250 mm | 330 mm x 330 mm | ||||||
| 動作精度-シングルモーター(2) | ±5.0 µm | ±0.7 µm | ±6.0 µm | ±0.8 µm | ±8 µm | ±1 µm | |||
| 動作精度-デュアルモーター(2) | ±4.0 µm | ±0.4 µm | ±5.0 µm | ±0.5 µm | ±6 µm | ±0.7 µm | |||
| 双方向繰り返し位置決め精度-シングルモーター | ±0.5 µm | ||||||||
| 双方向繰り返し位置決め精度-デュアルモーター | ±0.25 µm | ||||||||
| 動作分解能 (最小インクリメンタルモーション)(3) | 3.0 nm | ||||||||
| 真直度-上位軸方向--M1もしくは-M3モーター | ±1.5 µm | ±0.7 µm | ±2.0 µm | ±0.7 µm | ±2.5 µm | ±0.8 µm | |||
| 真直度-上位軸方向--M2もしくは-M4モーター | ±1.0 µm | ±0.5 µm | ±1.5 µm | ±0.5 µm | ±2.0 µm | ±0.6 µm | |||
| 真直度-下位軸方向--M1もしくは-M2モーター | ±2.5 µm | ±0.7 µm | ±3.25 µm | ±0.7 µm | ±4.0 µm | ±0.8 µm | |||
| 真直度-下位軸方向--M3もしくは-M4モーター | ±2.0 µm | ±0.5 µm | ±2.75 µm | ±0.5 µm | ±3.5 µm | ±0.6 µm | |||
| 平行度 | ±1.25 µm | ±1.75 µm | ±2.5 µm | ||||||
| ピッチング | 39 µrad (8 arc sec) | 58 µrad (12 arc sec) | 68 µrad (14 arc sec) | ||||||
| ローリング | 39 µrad (8 arc sec) | 58 µrad (12 arc sec) | 68 µrad (14 arc sec) | ||||||
| ヨーイング-シングルモーター | 39 µrad (8 arc sec) | 49 µrad (10 arc sec) | 58 µrad (12 arc sec) | ||||||
| ヨーイング-デュアルモーター | 29 µrad (6 arc sec) | 39 µrad (8 arc sec) | 49 µrad (10 arc sec) | ||||||
| 直交性 | 97 µrad (20 arc sec) | 24 µrad (5 arc sec) | 5 µrad (1 arc sec) | 97 µrad (20 arc sec) | 24 µrad (5 arc sec) | 5 µrad (1 arc sec) | 97 µrad (20 arc sec) | 24 µrad (5 arc sec) | 5 µrad (1 arc sec) |
| 最大速度(4) | 1.5 m/s | 2.0 m/s | |||||||
| 最大加速度 (無負荷、上位軸方向)(4) | 1.0 g (-M1もしくは-M3モーター) | ||||||||
| 2.0 g (-M2もしくは-M4モーター) | |||||||||
| 最大推力 - 連続、1.4 bar (20 psi) 空冷式-上位軸方向 | 47 N (-M1もしくは-M3モーター) | 120 N (-M1もしくは-M3モーター) | 173 N (-M1もしくは-M3モーター) | ||||||
| 94 N (-M2もしくは-M4モーター) | 240 N (-M2もしくは-M4モーター) | 346 N (-M2もしくは-M4モーター) | |||||||
| 最大推力 - 連続、1.4 bar (20 psi) 空冷式-下位軸方向 | 120 N (-M1もしくは-M2モーター) | 250 N (-M1もしくは-M2モーター) | 302 N (-M1もしくは-M2モーター) | ||||||
| 240 N (-M3もしくは-M4モーター) | 500 N (-M3もしくは-M4モーター) | 604 N (-M3もしくは-M4モーター) | |||||||
| 水平耐荷重(5) | 20 kg | 30 kg | 50 kg | ||||||
| 可搬質量-上位軸方向 | 4.3 kg (-M1もしくは-M3モーター) | 6.9 kg (-M1もしくは-M3モーター) | 13.4 kg (-M1もしくは-M3モーター) | ||||||
| 4.5 kg (-M2もしくは-M4モーター) | 7.2 kg (-M2もしくは-M4モーター) | 14.0 kg (-M2もしくは-M4モーター) | |||||||
| 可搬質量-下位軸方向 | 18.1 kg (-M1モーター) | 33.7 kg (-M1モーター) | 57.0 kg (-M1モーター) | ||||||
| 20.0 kg (-M2モーター) | 38.1 kg (-M2モーター) | 65.3 kg (-M2モーター) | |||||||
| 18.5 kg (-M3モーター) | 34.6 kg (-M3モーター) | 58.1 kg (-M3モーター) | |||||||
| 20.6 kg (-M4モーター) | 39.0 kg (-M4モーター) | 66.5 kg (-M4モーター) | |||||||
| ステージ重量(6) | 30 kg-36 kg | 60 kg-67 kg | 93 kg - 109 kg | ||||||
| 材質 | ブラックアルマイト加工アルミニウム | ||||||||
| MTBF（平均故障間隔） | 30,000 時間 | ||||||||
注釈
- 1. -PL3及び-PL4オプションにはAerotech社製コントローラーが必要です。
- 2. -PL1および-PL3オプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で、各軸ごとに測定した値です。-PL4の仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で測定したXY値です。
- 3. デュアルモータ仕様です。シングルモータ構成については、メーカーにお問い合わせください。
- 4. 十分な電圧・電流を有する適切なアンプの選定が必要です。
- 5. 記載された方向における軸方向荷重。
- 6. ステージ重量は、モータ構成によって異なります。
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