XY二軸ナノポジショニングステージANT130XY
製品紹介
ANT130XYステージは、統合された2軸設計により、優れた幾何特性と卓越した平面性能を実現します。
動的最適化設計により、優れた速度と高い処理スループットを実現します。
特長
- 最小インクリメンタル移動量 0.5 nm を実現
- XY一体型設計により、直交度、真直度、平坦度を最適化
- 高精度クロスローラベアリングを採用し、優れた動的性能と十分な耐荷重性を実現
仕様
| ANT130XY-060 | ANT130XY-110 | ANT130XY-160 | |
|---|---|---|---|
| 移動範囲 | 60 mm x 60 mm | 110 mm x 110 mm | 160 mm x 160 mm |
| 動作精度 - 基本性能 (-PL1)(1,2) | ±2.5 µm | ±4.0 µm | ±5.0 µm |
| 動作精度 - プラス性能 (-PL3)(1,2) | ± 250 nm (-E1, -E2, -E3) | ± 300 nm (-E1, -E2, -E3) | |
| ± 200 nm (-E4) | ± 225 nm (-E4) | ||
| 動作精度 - ウルトラ性能 (-PL4)(1,2) | ± 250 nm (-E1, -E2, -E3) | ± 300 nm (-E1, -E2, -E3) | |
| ± 200 nm (-E4) | ± 225 nm (-E4) | ||
| 双方向繰り返し位置決め精度(2) | ±75 nm | ||
| 動作分解能 (最小インクリメンタルモーション) | 1 nm (-E1) | ||
| 5 nm (-E3) | |||
| 0.5 nm (-E4) | |||
| 真直度 - 基本性能 (-PL1)(2) | ±1.5 µm | ±2.0 µm | |
| 真直度 - プラス性能 (-PL3)(2) | ±1.5 µm | ±2.0 µm | |
| 真直度 - ウルトラ性能 (-PL4)(2) | ± 250 nm | ± 300 nm | |
| 平行度(2) | ±1.5 µm | ±2.0 µm | |
| ピッチング | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec |
| ローリング | 10 arc sec | 12 arc sec | 15 arc sec |
| ヨーイング | 5 arc sec | 6 arc sec | 8 arc sec |
| 直交度 - 基本性能 (-PL1)(3) | 10 arc sec | ||
| 直交度 - プラス性能 (-PL3)(3) | 3 arc sec | ||
| 直交度 - ウルトラ性能 (-PL4)(3) | 1 arc sec | 0.5 arc sec | |
| 最高速度(4) | 350 mm/s (上部軸: -E1, -E3, -E4) | ||
| 145 mm/s (上部軸: -E2) | |||
| 最大加速度 (無負荷)(4) | 1 g (上部軸) | ||
| 速度安定性 | 通常性能はグラフをご参考ください。 | ||
| 整定時間 | 通常性能はグラフをご参考ください。 | ||
| 位置決め安定性(5) | <1 nm (-E1) | ||
| <5 nm (-E3) | |||
| <0.5 nm (-E4) | |||
| 水平耐荷重(6) | 12 kg | ||
| 移動質量 - 上部軸 | 1.4 kg | 1.9 kg | 2.3 kg |
| 移動質量 - 下部軸 | 4.2 kg | 5.6 kg | 6.9 kg |
| ステージ重量 | 5.7 kg | 7.5 kg | 9.2 kg |
| 材質 | アルマイト加工アルミニウム | ||
| MTFB（平均故障間隔） | 30,000 時間 | ||
注釈
- 1. BASEおよびPLUSオプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で、各軸ごとに測定した値です。ULTRAオプションの仕様は、テーブルトップから25 mm上方の位置で測定したXY値です。PLUSおよびULTRAの性能オプションには、Aerotech製コントローラが必要です。
- 2. ステージ毎に保証。
- 3. Aerotech社コントローラーが必要です。
- 4. 十分な電圧・電流を有する適切なアンプの選定が必要です。
- 5. 位置決め後の安定性は、3σ値として示しています。1 Vppエンコーダが必要です。
- 6. 可搬質量の仕様は、可搬質量が軸上の中心位置に配置されていることを前提としています。
- 7. 仕様性能を長期間にわたり達成・再現するため、周囲温度は24時間当たり0.25°C以内に管理する必要があります。詳細については、メーカーにお問い合わせください。
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