アルテック株式会社
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ナノ・マイクロプリンティング装置Hummink

微細描画を
かつてない領域へ

Hummink

マイクロエレクトロニクスやナノファブリケーションに最適。
革新的なキャピラリープリント方式(HPCAP)により、ナノ・マイクロレベルでの高精細プリンティングを達成。

独自開発技術「HPCAP」とは?

High Precision Capillary Printing(HPCAP)は、毛細管現象と表面張力+AFMのタッピングモードを融合した、特許取得済みのHummink社の独自開発技術です。
HPCAPの仕組みは、下記動画にて詳しくご覧いただけます。

HPCAPの特徴

  • キャピラリーによる塗膜法を採用した独自のマイクロペン技術
  • 的を絞った精密な製造
  • あらゆるインクと基板に対応、表面形状への自動適応

HPCAP方式を搭載した、テーブルトップ型装置「NAZCA」

テーブルトップ型装置 NAZCA

NAZCAは、業界の常識を変える「ゲームチェンジャー」となるR&D用の試作装置です。
専用インクを備えており、お客様の試作支援に最適なオールインワンシステムです。
「世界最先端の万年筆」による微細描画の世界をぜひご体験ください。

特長1

3Dテーパー面への配線

1台のNAZCAで、多様な材料・基板に対応可能

インク材料:銀、金、銅、グラフェン、ポリマー 等

インク粘度:最大100,000~120,000cP程度まで対応可能

基材表面:Si/SiO2/Si3N4ウェハ、ガラス、フレキシブル基板 等
(荒れた表面や段差・スロープなど2.5D表面の乗り越えも可能)

3Dテーパー面への配線/傾斜70°

特長2

ナノスケールの微細描画例

ナノスケールの微細描画・印刷を実現

16cmの塗膜スパンで25cmまでの基板へのプリンティングに対応しています。
解像度は、最小 500nm~最大 数十µmまでと広範囲。

また、ステージの高いポジショニング能力により、高精度を実現。
(XY軸において<100nmおよびZ軸において5nm)

特長3

高いデザイン自由度の描画例

高いデザイン自由度と高速印刷を両立

線、円、グレーティング、ドット、3Dピラー等の自由なデザイン描画が可能です。
印刷速度は、< 10mm/s (シームレス) と高速印刷を実現。
また、高倍率搭載カメラを用いて、描画プロセスを直接かつリアルタイムで追跡モニタリングすることが可能です。

アプリケーション例

  • ディスプレイ
  • 半導体
  • MEMS
  • プリンテッドエレクトロニクス

上記のほか、微細描画の応用分野においてアプリケーションは拡大しています。

Humminkに関する
お問い合わせ

仕様やお見積りなどお気軽にご相談ください。

03-5542-6755

[平日] 9:15~17:15

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