Fastmicro（ファストマイクロ）社は、オランダに本拠を置き、半導体製造分野を中心に表面付着パーティクルの測定・清浄度管理ソリューションを提供するメーカーです。
独自の光学測定技術により、パーティクルの個数・サイズ・位置を短時間で定量的に測定できます。

同社のパーティクル測定装置は、ASML社のEUV露光装置のサプライチェーンにおける、パーティクル低減プロジェクトで活用された実績を持ちます。
半導体製造装置や部品、ウェーハ、ペリクル、レチクルなどのパーティクル管理に活用されています。

製品一覧